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超純水紫外線消毒技術由于純水制水速度較慢，在純水和超純水之間通常采用水箱作為過度，由于水箱長期儲存純水就會因為材質溶出，空氣中有機物就污染，微生物繁殖等造成純水水質惡化，為了保證超純水的進水水質，就需要將水箱的水質惡化程度降到最低，紫外線消毒器在防止純凈水水質惡化方面應用廣泛。 雖然水質純化有許多方法，但是依然會有許多微生物殘存，這些微生物一旦存于水箱中，就會繁殖滋生細菌病毒，影響水質，所以在純水凈化的過程中，應該使用紫外線消毒器進行殺菌消毒。相對于藥劑消毒，紫外線消毒法消毒效果好，只需要在紫外光照射期間，實現微生物的消毒殺菌即可。當純水中的微生物受到紫外光的一定照射量處理時，殺菌率可達99.9%。在水純化過程中加裝紫外線消毒器，首先需要在純水系統的水流管路中加裝管道式紫外線消毒器，采用連續照射方法，對其進行殺菌效果檢測。紫外線燈的照射處理時間為每日10分鐘。結果顯示，管路中純水的細菌數在紫外線燈照射下約為4-10cfu/ml。之后，在紫外線燈的照射下細菌數進一步降低。水箱內的水經紫外線燈照射后，雖因重新注入純水而使細菌數增加，但仍可使細菌繁殖獲得極大抑制。 研究表明，在純水管線與水箱中同時使用紫外線消毒器紫外燈照射，可將純水中的細菌降到最低。水箱中的細菌一旦繁殖，就會將細菌及其代謝的有機物流入超純水系統。所以，進行超純水純化時，有必要在純水管線與水箱中同時加裝紫外線燈照射。
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